特許
J-GLOBAL ID：200903000630795074
軟X線多層膜反射鏡及びこれを用いた光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
篠原 泰司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241767
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080200
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】多層膜反射鏡の反射率を非常に高くでき、更に多層膜反射鏡を用いた光学系でタンパク質の炭素の顕微像を良好なコントラスト比で得ることである。【構成】ダイヤモンド薄膜の層と、この薄膜と屈折率の差が比較的大きい他の物質とを、基板1上に交互に積層して多層膜反射鏡2を形成する。X線顕微鏡の光学系において、対物レンズ7が、多層膜反射鏡2で構成する凹面鏡8と凸面鏡9から成るシュワルツシルド光学系である。X線源4からの軟X線の波長はタンパク質の炭素のK吸収端より短波長で、1S電子がπ軌道に遷移するときの共鳴エネルギーに相当する波長とする。
請求項（抜粋）：
基板上に互いに異なる複数の物質の層を順次積層することにより形成された多層膜反射鏡において、前記複数の物質のいずれかにダイヤモンドが含まれていることを特徴とする多層膜反射鏡。
IPC (2件)：
G21K 1/06
, B32B 7/02 103
