特許

J-GLOBAL ID：200903000631050676

感放射線性樹脂組成物

発明者： 櫻井 明彦 ,  丹羽 一明 ,  藤原 秀悦
出願人/特許権者： 日本合成ゴム株式会社
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-181660
公開番号（公開出願番号）：特開平8-044062
出願日： 1994年08月02日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：

【要約】【構成】 (A)下記式(1)および/または(1')【化1】(上記式において、R1およびR3は2価の脂環族基またはアルガノシロキサン骨格を含む2価の基を、R2およびR4は4価の有機基を示す。)で示される単位を主たる繰り返し単位とするポリイソイミドと、(B)放射線の照射により酸性を呈する化合物とを含有する感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物から形成されるパターン状膜はイミド環を有する高分子から構成されているので、耐熱性、電気的特性および機械適特性に優れ、パターン状膜として機能すると共にそのまま絶縁材として用いることができる。しかも上記パターン状膜を形成する際、膜減りの問題が著しく改善されており、コントラストも良好である。

請求項（抜粋）：

(A)下記式(1)および/または(1')【化1】(上記式(1)および/または(1')中、R1およびR3は、同一または異なって、2価の脂環族基またはオルガノシロキサン骨格を含む2価の基を示し、R2およびR4は、同一または異なって、4価の有機基を示す。)で示される単位を主たる繰り返し単位とするポリイソイミドと、(B)放射線の照射により酸性を呈する化合物とを含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 2/48 MDM ,  C08L 79/08 LRB ,  C09D179/08 PLX ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027