特許

J-GLOBAL ID：200903000638428704

クリーンルーム

発明者： 小池 淳義 ,  徳永 謙二
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-095147
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294471
出願日： 1999年04月01日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】 省エネルギーを図りランニングコストを低減する。【解決手段】 クリーンルーム10の供給チャンバ11に供給されたエアはFFU14で除塵されて清浄チャンバ12に垂直方向下向きの層流となって吹き出され、グレーチング15から排出チャンバ13に排出される。清浄チャンバ12に供給されたエアは空気調和装置22によってクリーンベンチ16のローディングエリア26に垂直方向下向きの層流となって吹き出される。エリが空気調和装置22を通過する際に、エアの温度、湿度は空気調和装置22によって所定の値に調和される。【効果】 エアの温湿度を調和する空気調和装置をクリーンベンチに設置することにより、クリーンベンチ内に供給されるエアについてだけ温湿度を調和すれば済むため、温湿度調和に消費されるエネルギーを小さく抑制でき、ランニングコストを低減できる。

請求項（抜粋）：

複数のクリーンベンチが設置されたクリーンルームであり、エアの温度を調和する空気調和装置が前記クリーンベンチに設置されていることを特徴とするクリーンルーム。

IPC (3件)：

H01L 21/02 ,  F24F 13/32 ,  F24F 7/06

FI (3件)：

H01L 21/02 D ,  F24F 7/06 C ,  F24F 1/00 411

Fターム (3件)：

3L058BE02 ,  3L058BF03 ,  3L058BG03