特許
J-GLOBAL ID：200903000645988901
テ-ブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177937
公開番号（公開出願番号）：特開平5-029442
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：
【要約】【構成】 空気ばねによって保持された定盤上に、略同じ質量を有する主テ-ブル22と第1のスライダ7(副テ-ブル)を1方向にスライド自在に設け、この主テ-ブル22と第1のスライダ7を第1、第2の連結手段16、20(ベルト19)で連結し、連動して互いに反対方向へ同量ずつ移動するように構成した。【効果】 上記主テ-ブルおよび副テ-ブルを作動させてもテ-ブル装置の重心位置は変化せず、バランスを保つことができるから、上記主テ-ブルおよび副テ-ブルが傾くことが有効に防止され、より高精度な位置決めを行うことができる。
請求項（抜粋）：
基体と、この基体上に往復移動自在に設けられた主テ-ブルと、上記基体上に往復移動自在に設けられ、上記主テ-ブルと略同じ質量を有する副テ-ブルと、上記主テ-ブルと副テ-ブルとを、連動して互いに反対方向に同量ずつ移動するように連結した連結手段と、上記連結手段を作動させ、主テ-ブルと副テ-ブルとを互いに反対方向に駆動する駆動手段とを備えることを特徴とするテ-ブル装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
