アライメント検出装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224896
公開番号（公開出願番号）：特開平6-046999
出願日： 1992年07月31日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：

【要約】【目的】アライメント状態が正確かつ容易に検出することができるアライメント検出装置を提供する。【構成】屈折力をもつ被検物と測定系等とのアライメント検出装置において、光学的に被検眼との距離が異なる一対の指標を被検物に投影する投影光学系と、該投影光学系に投影された一対の指標の被検物の反射像を検出する検出光学系と、該検出光学系による検出結果に基づいてアライメント状態を決定する判断手段とを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

屈折力をもつ被検物と測定系等とのアライメント検出装置において、光学的に被検眼との距離が異なる一対の指標を被検物に投影する投影光学系と、該投影光学系に投影された一対の指標の被検物の反射像を検出する検出光学系と、該検出光学系による検出結果に基づいてアライメント状態を決定する判断手段とを有することを特徴とするアライメント検出装置。

IPC (2件)：

A61B 3/107 , G01B 11/27

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭60-253431
特開平2-088038
特開平2-001212

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審査官引用 (10件)

特開昭60-253431
特開昭60-253431
特開平2-088038

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