特許

J-GLOBAL ID：200903000649379004

走査電子顕微鏡の自動焦点機能

発明者： 和田 正司 ,  安河内 正也 ,  ▲高▼根 淳
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-229023
公開番号（公開出願番号）：特開2002-042706
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】本発明は、焦点深度を外れる高低差のある被写体に対して、全領域で焦点の合った画像を提供することにある。【解決手段】試料の形状に合わせた励磁電流マップを、複数の焦点位置画像から画像処理により作成し、焦点位置マップを参照しながら焦点位置を変化させて観察画像を撮影する。

請求項（抜粋）：

試料に照射する電子ビームの焦点位置を変化させる焦点可変手段と、試料上の所定領域を電子ビームで走査する走査手段と、電子ビームを試料へ照射して発生した形状、材質等の情報を含む信号を検出する検出手段と、電子ビームの走査と焦点位置を制御する制御手段と、検出した信号を画像処理する画像処理手段と、焦点位置マップを記憶する記憶手段を有する走査電子顕微鏡において、焦点位置の異なる複数の画像から、画像処理により焦点位置マップを作成して、焦点位置マップに沿って、局部ごとに焦点位置を変化させて撮影することを特徴とする走査電子顕微鏡装置。

IPC (6件)：

H01J 37/141 ,  G01N 23/225 ,  G02B 7/28 ,  H01J 37/21 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28

FI (7件)：

H01J 37/141 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/21 B ,  H01J 37/22 502 J ,  H01J 37/28 B ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 N

Fターム (20件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001CA03 ,  2G001FA06 ,  2G001GA03 ,  2G001GA04 ,  2G001GA11 ,  2G001JA02 ,  2G001JA11 ,  2G001JA20 ,  2G001KA20 ,  2H051AA11 ,  2H051DB01 ,  2H051GB11 ,  5C033DD09 ,  5C033DD10 ,  5C033MM03 ,  5C033UU02 ,  5C033UU05 ,  5C033UU06