特許
J-GLOBAL ID：200903000651931946
セラミックグリーンシート積層方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-179980
公開番号（公開出願番号）：特開平7-009425
出願日： 1993年06月26日
公開日（公表日）： 1995年01月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 キャリアフィルム付セラミックグリーンシートをその全体にわたって均一に圧着し、層間剥離が生じないセラミックグリーンシート積層体を得る。【構成】 プレス機60は、ヒーターを内蔵する押型61を上下させて、その下に積層ステージ40が挿入されたとき、同積層ステージ40上に積層されたセラミックグリーンシートaを上から加熱しながら加圧する。この押型61の押圧面に厚さ方向に収縮自在な粗面シート63を貼り付けられており、積層されたセラミックグリーンシートは、この粗面シート63を介して押型62に加圧・加熱される。粗面シート63は、表面粗さが10μm以上のものがよく、例えば表面の粗い紙シート、織布或は不織布等を用いることができる。
請求項（抜粋）：
セラミックグリーンシートを積層する方法において、キャリアフィルムごと一定形状に打ち抜かれたセラミックグリーンシートを、キャリアフィルムを上側にして積層ステージの上に載せられた他のセラミックグリーンシートの上に載せ、厚さ方向に収縮可能な粗面シートを介してキャリアフィルム側から押型でセラミックグリーンシートを加圧・加熱して圧着した後、加圧されたセラミックグリーンシート上のキャリアフィルムを剥離し、以下前記工程を所定の回数だけ繰り返して所定の枚数のセラミックグリーンシートを積層することを特徴とするセラミックグリーンシート積層方法。
IPC (3件)：
B28B 11/02
, H01G 4/12 364
, H05K 3/46
