基板処理装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-223752
公開番号（公開出願番号）：特開2003-037094
出願日： 2001年07月25日
公開日（公表日）： 2003年02月07日
要約：

【要約】【課題】基板の搬入・搬出時に、基板への液滴による汚染を防止した処理装置を提供する。【解決手段】基板搬入出口73を閉塞するシャッタ板76を、シャッタ駆動機構77で90度回動可能に構成する。また、シャッタ板76は、隔壁72と回転支持板21との間で基板Wが通過する通路において基板Wを覆う大きさである。基板Wの搬入・搬出の時、上記のシャッタ板76が回動して、通路の上方へ移動して、覆うことにより液滴が基板Wに落下して汚染することが防止される。

請求項（抜粋）：

基板に対して処理液を供給して処理を施すための基板処理部を取り囲むように形成された隔壁と、この隔壁に形成され、上記基板処理部に対して基板を搬入または搬出する際に基板が通過する開口と、この開口を閉塞可能のシャッタと、を備え、前記シャッタが開口を開成する際に、基板が搬入または搬出のために通過する隔壁から基板処理部に至る通路の上方に、前記シャッタが移動することを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 643 , B08B 3/02 , B65G 49/00 , B65G 49/06 , H01L 21/68

FI (5件)：

H01L 21/304 643 A , B08B 3/02 B , B65G 49/00 C , B65G 49/06 Z , H01L 21/68 A

Fターム (20件)：

3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB01 , 3B201AB42 , 3B201BB22 , 3B201BB92 , 3B201BB93 , 3B201BB96 , 3B201CC12 , 3B201CC13 , 3B201CD11 , 3B201CD33 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA12 , 5F031MA23 , 5F031NA09

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