特許

J-GLOBAL ID：200903000659887954

高周波電源装置及びレーザ発振装置

発明者： 三国 幸宏 ,  浜口 昌弘 ,  渡邊 良哉 ,  冨里 哲夫 ,  永井 学
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  電気興業株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 強 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-089738
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302888
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】 絶縁上の問題を解消した高周波電源装置及びレーザ出力を精度よく制御できるレーザ発振装置を得る。【構成】 高周波電源部12からの出力電圧V及び出力電流Iaは電圧検出器17及び電流検出器18によって検出されて位相制御回路16に与えられる。位相制御回路16は、出力電圧Vと出力電流Iaとの位相が略一致するように高周波電源部12の出力周波数fを制御する。一方、出力制御回路14は、出力設定器15から与えられる出力設定値SVと出力電圧Vとを比較して出力電圧Vが出力設定値SVと略一致するように高周波電源部12を制御する。そして、高周波電源部12の高周波電源はレーザ発振装置20の放電電極21,21間に供給される。

請求項（抜粋）：

商用交流電源を高周波電源に変換する高周波電源部と、この高周波電源部と負荷との間に設置され、負荷電流と前記高周波電源部の出力電圧とを略1対1の関係に整合するインピーダンス整合手段と、前記高周波電源部の出力電圧と出力電流との位相を検出し、これらの位相が略一致するように前記高周波電源部の出力周波数を制御する位相制御手段と、前記高周波電源部の出力電圧を検出し、これが設定値となるようにその高周波電源部を制御する出力制御手段とを具備してなる高周波電源装置。