洗浄方法及び洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-150846
公開番号（公開出願番号）：特開平8-010726
出願日： 1994年07月01日
公開日（公表日）： 1996年01月16日
要約：

【要約】【目的】均一で且つ洗浄効率の高い洗浄方法及び洗浄装置を提供する。【構成】加圧下で気体を洗浄液に溶解させるための耐圧性気体溶解タンク12と、タンク12に加圧した気体を供給する手段14と、タンクに接続し、被洗浄体に洗浄液を適用する手段26と、タンク12から該洗浄液を適用する手段26に洗浄液を供給するための手段24と、を備えたことを特徴とする。洗浄液に難溶性の気体を加圧条件下で溶解させ、常圧で洗浄処理することによって、洗浄液中に微細かつ均一な気泡を発生させる。

請求項（抜粋）：