特許
J-GLOBAL ID:200903000669310809

プラズマ発生装置の電極

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 植木 久一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-181827
公開番号(公開出願番号):特開平9-035892
出願日: 1995年07月18日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 寿命が著しく向上したプラズマ発生装置用電極を提供する。【解決手段】 ZrおよびCrを含有し、残部CuであるCu基合金からなるプラズマ発生装置の電極である。
請求項(抜粋):
ZrおよびCrを含有し、残部CuであるCu基合金からなることを特徴とするプラズマ発生装置の電極。
IPC (5件):
H05H 1/34 ,  B23K 10/00 504 ,  C22C 9/00 ,  F23G 5/10 ZAB ,  H05B 7/06
FI (5件):
H05H 1/34 ,  B23K 10/00 504 ,  C22C 9/00 ,  F23G 5/10 ZAB Z ,  H05B 7/06
引用特許:
審査官引用 (2件)

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