四重極イオン蓄積リング

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-018619
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213498
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】イオン蓄積リングに関し、特にキロ電子ボルト以下の低エネルギーイオンビームを安定に蓄積し、そのイオンビームを加速、減速する手段を提供すること。【解決手段】真空中に配置された加速手段を備えた高周波四重極リング電極と、イオン蓄積用高周波電源、加速手段、そして遠心力補償直流電圧印加電源からなる。

請求項（抜粋）：

断面が四極子構造になるように組み合わせた4つのリング電極からなる電極構造を備え、電極内に四重極高周波電場が形成されるように高周波電圧を印加することにより、荷電粒子を電極の内部に蓄積する高周波四重極イオン蓄積リングにおいて、リング内を周回運動する荷電粒子線の平均軌道を一定に保つために、リング電極の内側リング電極と外側リング電極との間にイオンの遠心力を打ち消すような直流電圧を高インピーダンスの結線手段を介して重畳することを特徴とした高周波四重極イオン蓄積リング。

IPC (5件)：

H05H 13/04 , G01N 27/62 , H01J 27/02 , H01J 37/08 , H01J 49/26

FI (5件)：

H05H 13/04 B , G01N 27/62 L , H01J 27/02 , H01J 37/08 , H01J 49/26

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