特許
J-GLOBAL ID：200903000671276030
X線検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250450
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114560
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目的】 比較的簡単且つ安価な構成で精度のよいX線検査が行なえるX線検査装置を提供すること。【構成】 X線検査装置に、X線発生手段11を内部に組み込み、このX線発生手段11により発生されたX線から細いX線ビーム13を作るとともに、このX線ビーム13を試料14上で一方向に走査させる走査手段12と、X線の走査範囲をカバーして設置され、試料を透過したX線を単一のフォトマルチプライヤーチューブ23で検出するX線検出手段15とを備えた。このため、X線検査装置の構成を従来に比べて簡単化でき、しかも安価で精度のよいX線検査が行なえるX線検査装置を実現することができる。
請求項（抜粋）：
X線源を形成するX線発生手段と、X線発生手段により発生されたX線から細いX線ビームを作るとともに、このX線ビームを移動する試料上で一方向に走査させる走査手段と、X線の走査範囲をカバーして設置され、試料を透過したX線を検出するX線検出手段とを備えたX線検査装置。
IPC (2件)：
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