特許

J-GLOBAL ID：200903000672134051

光学プローブ・被測定対象間の距離制御方法および距離制御装置ならびに電気物理量測定装置

発明者： 渡辺 智
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-136915
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331712
出願日： 1993年05月15日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：

【要約】【目的】 光学プローブ(EOプローブ,MOプローブ)と被測定回路との離間距離を正確に測定し、その測定値をプローブの位置制御手段にフィードバックすることで、光学プローブと被測定対象との離間距離を高精度に制御する。【構成】(1)電気物理量測定用光の光路に、該電気物理量測定用光とは異なる波長帯域を持つ離間距離測定用光を入射させ、(2)該距離測定用光を前記EOプローブ31の先端面および前記被測定回路32の表面において反射させ、(3)EOプローブ31の先端面における反射光と、被測定対象32の表面における反射光との位相差に基づいて、EOプローブ31の先端と被測定回路32との離間距離を測定し、(3)該測定値をEOプローブ31の位置制御手段41にフィードバックして離間距離を制御する。

請求項（抜粋）：

被測定対象表面の電気物理量を測定する電気物理量測定装置に適用される光学プローブ・被測定対象間の距離制御方法において、所定の波長帯域を持つ距離測定用光を光学プローブの透明な先端面および被測定対象表面において反射させ、前記光学プローブ先端面における反射光と、前記被測定対象表面における反射光との位相差に基づいて、前記光学プローブ先端と前記被測定対象との離間距離を測定し、該測定値を前記光学プローブの位置制御手段にフィードバックして前記離間距離を制御する、ことを特徴とする光学プローブ・被測定対象間の距離制御方法。

IPC (3件)：

G01R 31/302 ,  G01R 19/00 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-236377
  
• 特公平4-023202
  
• 特開昭61-076902