特許

J-GLOBAL ID：200903000676432766

波長フィルタ、露光装置および撮像装置

発明者： 糸賀 賢二
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (6件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-109803
公開番号（公開出願番号）：特開2004-317693
出願日： 2003年04月15日
公開日（公表日）： 2004年11月11日
要約：

【課題】複雑な制御システムを必要としない波長フィルタ、その波長フィルタを用いた露光装置および撮像装置を提供する。【解決手段】特定波長域の光をカットするフィルタ3であって、光軸にその面を交差させて、その回折溝13a,13bを互いに平行にして配置された2枚以上の透過型回折格子3a,3bを備え、2枚以上の透過型回折格子が互いに間隙Lをおいて配置されている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

特定波長域の光をカットするフィルタであって、 光軸にその面を交差させて、その回折溝を互いに平行にして配置された2枚以上の透過型回折格子を備え、 前記2枚以上の透過型回折格子が互いに間隙をおいて配置されている、波長フィルタ。

IPC (3件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (3件)：

G02B5/18 ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 531A

Fターム (10件)：

2H049AA03 ,  2H049AA50 ,  2H049AA51 ,  2H049AA58 ,  2H049AA68 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  5F046CB08 ,  5F046GB07 ,  5F046GC04