特許
J-GLOBAL ID：200903000679179140
液体噴射記録ヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-144502
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330066
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【構成】 液体噴射記録ヘッドの製造方法において、?@インク供給口3を有し、液体吐出エネルギー発生素子2を含む基板1上に、溶解可能な樹脂層(8の部分)にてインク流路パターンを形成する工程と、?A溶解可能な樹脂上に被覆樹脂層5を形成する工程と、?B被覆樹脂層表面に酸素プラズマ耐性の高い材料6でインク吐出孔パターンを形成する工程と、?C該吐出孔パターンをマスクとして酸素プラズマで被覆樹脂層をドライエッチングしインク吐出孔7を形成する工程と、?D溶解可能な樹脂層を溶出してインク流路8を形成する工程とを少くとも含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。【効果】 本発明方法により、工程が簡便で生産性が高く、寸法精度が高くインク吐出特性の安定した記録ヘッドの製造が可能となる。
請求項（抜粋）：
?@基体上に、溶解可能な樹脂層にてインク流路パターンを形成する工程と:?A前記溶解可能な樹脂層上に被覆樹脂層を形成する工程と:?B被覆樹脂層表面に酸素プラズマ耐性の高い材料にてインク吐出口パターンを形成する工程と:?C該インク吐出孔パターンをマスクとして酸素プラズマにて樹脂層をドライエッチングしインク吐出口を形成する工程と:?D溶解可能な樹脂層を溶出する工程:とを少なくとも含むことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
引用特許：
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