特許
J-GLOBAL ID:200903000680126807
セラミックバルブ及びそれを用いたバルブユニット
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
菅原 正倫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-306115
公開番号(公開出願番号):特開2001-124220
出願日: 1999年10月27日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】 優れた摺動特性を長期間安定して得ることができて水漏れ等も生じににくく、しかもメンテナンス性に極めて優れたセラミックバルブを提供する。【解決手段】 セラミックバルブ10、各々セラミック製の固定弁体11と可動弁体12とを備え、それら弁体11,12の一方の摺動面12aを主に非晶質炭素からなる硬質炭素被膜にて覆うとともに、固定弁体と可動弁体との両摺動面の算術平均粗さRaを0.08μm以下とする。また、硬質炭素被膜のヌープ硬さHKの数値をV1、その硬質炭素被膜の形成されない相手側の弁体11の摺動面11aを形成するセラミック基材のビッカース硬さHVの数値をV2として、V1>V2とする。
請求項(抜粋):
各々セラミック製の固定弁体と可動弁体とを備え、それら弁体の一方の摺動面を主に非晶質炭素からなる硬質炭素被膜にて覆うとともに、前記固定弁体と前記可動弁体との両摺動面の算術平均粗さRaを0.08μm以下とし、かつ、前記硬質炭素被膜のヌープ硬さHKの数値をV1、その硬質炭素被膜の形成されない相手側の弁体の摺動面部を形成するセラミック基材のビッカース硬さHVの数値をV2として、V1>V2としたことを特徴とするセラミックバルブ。
IPC (4件):
F16K 3/06
, C04B 41/87
, F16K 3/314
, F16K 11/072
FI (5件):
F16K 3/06 A
, C04B 41/87 N
, C04B 41/87 H
, F16K 3/314 Z
, F16K 11/072 B
Fターム (28件):
3H053AA02
, 3H053AA35
, 3H053BA04
, 3H053BA16
, 3H053BB03
, 3H053BB04
, 3H053BB17
, 3H053CA01
, 3H053DA02
, 3H053DA03
, 3H067AA13
, 3H067CC02
, 3H067CC23
, 3H067CC39
, 3H067CC44
, 3H067CC45
, 3H067DD03
, 3H067DD12
, 3H067DD23
, 3H067DD24
, 3H067EA16
, 3H067EA23
, 3H067EB08
, 3H067EB09
, 3H067EB12
, 3H067EB23
, 3H067FF02
, 3H067GG13
引用特許: