特許

J-GLOBAL ID：200903000680222172

固体撮像装置の製造方法

発明者： 清水 悦朗 ,  松本 一哉 ,  福岡 荘尚
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-180442
公開番号（公開出願番号）：特開平5-006988
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：

【要約】【目的】 マイクロレンズを備えた固体撮像装置において、クリアモールド実装等においてもレンズ効果が消失せず、開口率が高く且つ化学的耐久性の高いマイクロレンズの製造方法を提供する。【構成】 フォトダイオード2を配設した半導体基板1上にゾル状の屈折率分布型レンズ基材3を塗布形成する。次いで室温保存でレンズ基材3をゲル化した後、その上にマスク材4を形成してフォトリソ工程で加工し、次にレンズ基材3を硫酸等にさらして高屈折率成分を選択的に溶出する。これにより高屈折率領域5と低屈折率領域6とからなる屈折率分布型レンズが形成される。

請求項（抜粋）：

半導体基板の表面領域にマトリクス状に配設された複数の光電変換素子と、前記半導体基板上に配設され前記各光電変換素子に対応する部分に入射光を収束するマイクロレンズを備えた固体撮像装置の製造方法において、前記半導体基板上にゾル状基材を塗布する工程と、該ゾル状基材をゲル化したのちに該ゲル状基材の構成物質の一部を部分的に溶出させる工程と、該ゲル状基材を焼成してガラス転化する工程を含む方法で屈折率分布型のマイクロレンズを形成することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/02 ,  H01L 31/0232

FI (2件)：

H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D