特許
J-GLOBAL ID：200903000682512348
ニッケルおよび/または酸化ニッケルの気相からの析出方法、並びに安定な蒸発特性を有する新規なニッケル化合物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-522275
公開番号（公開出願番号）：特表平9-509187
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1997年09月16日
要約：
【要約】蒸発させようとするニッケル化合物としてNi(β-ジケトネート)2.Lm[式中、Lは有機(ポリ)エーテルおよび/または(ポリ)アミンでありそしてmは1または2であり且つ1個のニッケルイオンと結合された配位子Lの数を示す]を使用する、酸化ニッケルおよび/またはニッケルの気相からの析出方法が記載されている。Ni(R1R2R3C-CO-CR4-CO-R5R6R7)2.R8-A1-(CH2-CH2-A2)n-R9[式中、R1およびR7は互いに独立してH、CH3またはCpF2p+1を表し、ここでpは0〜3の数であり、そしてR2、R3、R4、R5およびR6は互いに独立してH、CH3、FまたはCF3を表し、A1およびA2は互いに独立してOまたはNR10を表し、R8、R9およびR10は各々水素原子またはC1-C3アルキル基。そして特にメチル基を表し、それによりR8およびR9が結合されてC2-C3アルキレン基を形成してもよく、そしてnは1〜3の数であり、但し条件として、A1およびA2がNR10を表すなら、nは2である]タイプの新規なニッケル化合物も記載されている。
請求項（抜粋）：
蒸発させようとするニッケル化合物として一般式1: Ni(β-ジケトネート)2.Lm 1[式中、Lは有機(ポリ)エーテルおよび/または(ポリ)アミンであり、そしてmは1または2であり且つ1個のニッケルイオンと結合された配位子Lの数を示す]の化合物を使用することを特徴とする、固相または液相からのニッケル化合物の蒸発、並びにその後の酸化条件下での酸化ニッケル生成のための析出中および析出後の、または還元条件下でのニッケルもしくはニッケルと酸化ニッケルとの混合物生成のための析出中および/もしくは析出後の、気相における分解による、酸化ニッケルおよび/またはニッケルの析出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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