特許

J-GLOBAL ID：200903000685092064

分析用試料導入装置およびその方法

発明者： 小林 正洋 ,  鈴木 敏弘
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-214139
公開番号（公開出願番号）：特開平6-060846
出願日： 1992年08月11日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【構成】 電磁バルブ22を開けて真空ポンプ24を作動させて、密閉容器1を真空引きし、試料中に含まれる空気を除去した後、電磁バルブ22を閉じて、電磁バルブ23を開け、置換ガスとしてアルゴンを密閉容器1に導入する。つづいて、電磁バルブ21a,21bを開け、ガス制御機構10を通じて一定量のキャリアガスを流す。レーザ発振器7によって発振したレーザ光を集光レンズ8で集光し、反射板9によって反射させレーザ光を窓2を通して試料4に導き、試料表面に焦点を結ばせる。このレーザによって試料表面の一部は霧化し、キャリアガスと混合し排出口からパイプ3bを通って分析装置に導かれる。【効果】 このようにして導入された試料4には空気が除去されているので、窒素、酸素による目的成分の質量スペクトルを妨害することがないので、高精度な定量分析が可能となる。

請求項（抜粋）：

キャリアガスの導入口及び排出口を有する密閉容器と、前記導入口につながるキャリアガスの流量を制御できるガス流量制御装置と、前記密閉容器に透光性材料からなる窓を設け、この窓を通して試料にレーザ光を照射するレーザ発振器とからなる分析用試料導入装置において、前記密閉容器を真空引きする真空ポンプと、前記密閉容器をガス置換するガス置換口とを備えたことを特徴とする分析用試料導入装置。

IPC (3件)：

H01J 49/04 ,  H01J 49/10 ,  G01N 27/62

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-104449
  
• 特開平4-005554
  
• 特開平4-215429