厚み測定装置、検査装置、製造装置および厚み測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-316259
公開番号（公開出願番号）：特開2005-083894
出願日： 2003年09月09日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】その表面に微細な凹凸を有する測定対象体の厚みを正確に測定し得る厚み測定装置を提供する。【解決手段】測定用のレーザービームLを測定対象面に照射すると共にレーザービームLの反射光Rを受光して測定対象面との間の距離を特定可能な検出信号Sを出力する距離センサ11と、その表面41aが平坦またはほぼ平坦に形成されたセラミック板41を移動可能な移動機構と、移動機構に対してケース本体32の一面にセラミック板41を当接させると共に距離センサ11に対してセラミック板41の表面41aにレーザービームLを照射させて検出信号Sを出力させる制御部と、検出信号Sに基づいてケース本体32の厚みを測定する測定部とを備えている。【選択図】図2

請求項１：

測定用の照射光を測定対象面に照射すると共に当該照射光の反射光を受光して当該測定対象面との間の距離を特定可能な検出信号を出力する検出手段と、その表面が平坦またはほぼ平坦に形成された測定用板部材を移動可能な移動機構と、当該移動機構に対して測定対象体の一面に前記測定用板部材を当接させると共に前記検出手段に対して当該測定用板部材の前記表面に前記照射光を照射させて前記検出信号を出力させる制御部と、前記検出信号に基づいて前記測定対象体の厚みを測定する測定部とを備えている厚み測定装置。

IPC (3件)：

G01B11/06 , G11B23/107 , G11B23/113

FI (3件)：

G01B11/06 Z , G11B23/107 , G11B23/113 501A

Fターム (17件)：

2F065AA06 , 2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065DD04 , 2F065DD05 , 2F065FF09 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065QQ08 , 2F065QQ25 , 2F065RR06 , 2F065TT03

引用特許：

出願人引用 (1件)

厚み測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-207790 出願人：株式会社日立製作所, アキタ電子株式会社

審査官引用 (4件)

光式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-192892 出願人：オムロン株式会社
高さ検出方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-230111 出願人：松下電器産業株式会社
ICリード曲り測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-052915 出願人：ソニー株式会社

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