特許
J-GLOBAL ID:200903000692152048

微小ボール供給方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 國分 孝悦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-150095
公開番号(公開出願番号):特開平10-326787
出願日: 1997年05月23日
公開日(公表日): 1998年12月08日
要約:
【要約】【課題】 微小ボールを正確に供給し得る方法および装置を提供する。【解決手段】 容器20に微小ボールBを供給するボール供給手段30と、ボール供給手段30から容器20に供給されるべき微小ボールBのボール数量を計数するボールカウンタ40と、を備える。ボールカウンタ40により微小ボールBを計数しながら、ボール供給手段30から容器20に微小ボールを供給する。容器20へ微小金属ボールBを供給するとき、シュート31を通過する微小金属ボールBはボールカウンタ40によって正確にカウントされ、微小金属ボールBの個数を計数しながら容器20に供給することで、容器20内の微小金属ボールBの数量をつねに最適範囲に維持することができる。
請求項(抜粋):
所定容器に微小ボールを供給する方法であって、ボール供給手段から前記容器に供給されるべき微小ボールのボール数量を計数し、前記容器内に収容される微小ボールの量が最適範囲に維持されるように微小ボールの供給量を制御することを特徴とする微小ボール供給方法。
IPC (2件):
H01L 21/321 ,  H01L 21/60 311
FI (3件):
H01L 21/92 604 H ,  H01L 21/60 311 Q ,  H01L 21/92 604 Z
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)

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