ステージローディング評価方法及び装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北野好人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-232671
公開番号（公開出願番号）：特開平7-086365
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】炉芯管内の製品のローディング状況(例えば、炉芯管内の薄膜剥離の発生状況、ステージコロの磨耗状態、製品の欠陥発生状況等)をリアルタイムに評価するステージローディング評価方法及び装置を提供する。【構成】製品を搭載したステージ3を引き出し棒1により炉芯管7内にローディングする際のローディング状況を評価するステージローディング評価方法において、引き出し棒1に設置された接触式超音波検出手段11により検出された超音波信号に基づき、ステージのローディング状況を評価する。

請求項（抜粋）：

製品を搭載したステージを引き出し棒により炉芯管内にローディングする際のローディング状況を評価するステージローディング評価方法において、前記引き出し棒に設置された接触式超音波検出手段により検出された超音波信号に基づき、前記ステージのローディング状況を評価することを特徴とするステージローディング評価方法。

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