ディスプレイ用基板及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡部敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-074241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-265250
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】高温製造プロセスで製造される場合であっても、可動イオンの熱拡散による素子の動作異常を防止し、且つ基板の帯電による素子寿命の低下を防止することができるディスプレイ用基板を提供する。【解決手段】ガラス基板10の素子形成側表面上には、該表面の帯電を防止すべく、フロートバス内でのCVD法等により抵抗制御膜11が成膜されている。基板10はソーダライムガラスから成り、その厚さは、例えば3mmである。抵抗制御膜11は、SnO2、TiO2、Al2O3のいずれか1つを主成分とし、その厚さは、例えば50〜1000nmである。これにより、抵抗制御膜11の表面抵抗が1.0×107〜1.0×1015Ω/□の範囲内になるように制御することができる。抵抗制御膜11と基板10との間に、可動イオン拡散防止膜17を基板10の表面上に成膜して介在させ、抵抗制御膜11の表面には、可動イオン拡散防止膜18を成膜する。

請求項（抜粋）：

基板表面に抵抗制御膜が形成されたディスプレイ用基板において、前記抵抗制御膜の表面抵抗が1.0×107〜1.0×1015Ω/□の範囲内にあることを特徴とするディスプレイ用基板。

IPC (9件)：

G09F 9/30 310 , G09F 9/30 360 , C03C 17/245 , C03C 17/34 , G02F 1/1333 500 , H01J 1/316 , H01J 9/02 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (10件)：

G09F 9/30 310 , G09F 9/30 360 , C03C 17/245 A , C03C 17/245 Z , C03C 17/34 Z , G02F 1/1333 500 , H01J 9/02 E , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 E

Fターム (50件)：

2H090HA04 , 2H090HB04X , 2H090HC01 , 2H090HC15 , 2H090HC16 , 2H090HC18 , 2H090HD02 , 2H090JB02 , 2H090JC07 , 4G059AA04 , 4G059AB11 , 4G059AC11 , 4G059EA01 , 4G059EA04 , 4G059EA05 , 4G059EA12 , 4G059EB02 , 4G059EB04 , 4G059GA02 , 4G059GA04 , 4G059GA12 , 5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE02 , 5C036EE09 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH04 , 5C036EH06 , 5C036EH08 , 5C094AA31 , 5C094AA43 , 5C094AA46 , 5C094AA54 , 5C094BA32 , 5C094BA34 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094EB02 , 5C094ED01 , 5C094FA02 , 5C094FB02 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA01 , 5C094JA05

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