特許
J-GLOBAL ID：200903000712078850

感光性樹脂組成物及びパターン形成方法

発明者：
藤野 竹生

藤野 竹生 について

, 
阿部 信紀

阿部 信紀 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-101971
公開番号（公開出願番号）：特開2005-284208
出願日： 2004年03月31日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：
【課題】 保存安定性を損なうことなく、断面が逆テーパー状で、耐熱性が顕著に優れ、かつ平滑性の高い基板に対しても密着性に優れたレジストパターンを形成することができる感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂、活性光線の照射または活性光線の照射と引き続く熱処理によってアルカリ可溶性樹脂を架橋する架橋成分、活性光線を吸収する化合物、及びポリビニルアルキルエーテルを含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項１：
アルカリ可溶性樹脂(a)、活性光線の照射または活性光線の照射と引き続く熱処理によってアルカリ可溶性樹脂を架橋する架橋成分(b)、活性光線を吸収する化合物(c)、及びポリビニルアルキルエーテル(d)を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038 ,  H01L21/027 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 ,  H05B33/22
FI (7件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/038 601 ,  H05B33/12 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/22 Z ,  H01L21/30 502R
Fターム (29件)：
2H025AA03 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BE00 ,  2H025CA00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB28 ,  2H025CB29 ,  2H025CB45 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DA01 ,  3K007DB03 ,  3K007EA00 ,  3K007EB00 ,  3K007FA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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