樹脂

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：棚井澄雄 , 志賀正武 , 青山正和 , 鈴木三義 , 柳井則子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-206588
公開番号（公開出願番号）：特開2005-053996
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】レジストに用いた場合に充分実用に足る溶解コントラストを有し、かつパターン倒れを抑制可能な樹脂、を提供する。【解決手段】低級アルキル分子から3方以上にポリマー鎖が延びた星型分岐ポリマーを含むことを特徴とする、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するレジスト用樹脂、3官能以上の連鎖移動剤の存在下、(メタ)アクリル酸エステルを含む単量体の重合により得られる星型分岐ポリマーを含む、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大するレジスト用樹脂。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

低級アルキル分子から3方以上にポリマー鎖が延びた星型分岐ポリマーを含むことを特徴とする、酸の作用によりアルカリに対する溶解性が増大する樹脂。

IPC (3件)：

C08F220/12 , C08F2/38 , G03F7/039

FI (3件)：

C08F220/12 , C08F2/38 , G03F7/039 601

Fターム (31件)：

2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB14 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J011NA25 , 4J011NB06 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100AL08R , 4J100BA03R , 4J100BA20P , 4J100BC07P , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100FA04 , 4J100FA19 , 4J100FA20 , 4J100FA21 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (7件)

シャドウマスク形成用組成物およびこれを用いたシャドウマスクの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-161466 出願人：東京応化工業株式会社, 株式会社日本触媒
(メタ)アクリル酸エステル系重合体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-184168 出願人：日本曹達株式会社
ポリマー組成物
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-535677 出願人：イネオスアクリリックスユーケーリミティド

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