特許

J-GLOBAL ID：200903000717485551

光導波路およびその製造方法、ならびに光信号伝送装置

発明者： 小川 剛
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-170725
公開番号（公開出願番号）：特開2002-365457
出願日： 2001年06月06日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 長手方向端部に形成される光路変換用ミラーを効果的に保護し得る構造をもつ光導波路およびその製造方法ならびに光信号伝送装置を提供する。【解決手段】 光路変換用ミラー31aが面する空間41aは、コア層12、クラッド層13、14aおよび封止壁14bを含む光導波路25と、基板11とによって、外気から完全に遮断されている。同様に、光路変換用ミラー31bが面する空間41bは、コア層12、クラッド層13、14aおよび封止壁14cを含む光導波路25と、基板11とによって、外気から完全に遮断されている。このため、光路変換用ミラー31a,31bに汚れ、ごみおよびきず等が付くのを効果的に回避できる。

請求項（抜粋）：

光信号を伝播し得るように基板上に配設されると共に、前記光信号の伝播方向における端部に光路変換用ミラーが設けられた光導波路であって、前記光路変換用ミラーは、光導波路自身と前記基板とによって囲まれた閉じた空間に面していることを特徴とする光導波路。

IPC (4件)：

G02B 6/122 ,  H01L 31/0232 ,  H01L 33/00 ,  H01S 5/022

FI (4件)：

H01L 33/00 M ,  H01S 5/022 ,  G02B 6/12 B ,  H01L 31/02 D

Fターム (27件)：

2H047KA04 ,  2H047LA09 ,  2H047MA07 ,  2H047PA21 ,  2H047QA05 ,  2H047TA43 ,  5F041AA43 ,  5F041AA44 ,  5F041CA12 ,  5F041DA09 ,  5F041DA19 ,  5F041DA34 ,  5F041EE23 ,  5F041FF14 ,  5F073AA64 ,  5F073AB18 ,  5F073AB29 ,  5F073BA01 ,  5F073FA15 ,  5F073FA22 ,  5F088AA01 ,  5F088BA10 ,  5F088BA16 ,  5F088BB01 ,  5F088JA03 ,  5F088JA09 ,  5F088JA11