光結合モジュールとその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025881
公開番号（公開出願番号）：特開平8-201660
出願日： 1995年01月20日
公開日（公表日）： 1996年08月09日
要約：

【要約】【目的】光ファイバ等の光ガイドと発光素子等の光学素子とを高精度で低コストで光結合させる。【構成】予めシリコン等の基板1の上面にV溝2を形成し、光ファイバ3の端末を固定する一方、その光軸上、即ちZ軸上に比較的緩やかな精度で発光素子4を固定してしまう。そして、そのZ軸上にこれと交差するようにV溝5を形成し、ここに球状レンズ6を収める。発光素子4を動作させながら球状レンズ6をV溝5に沿ってスライドさせると、光ファイバ3との結合を実測しながら光ビームを最適な状態に調整できる。

請求項（抜粋）：

基板上で、光ガイドと光学素子とを光学的に結合させるものであって、前記光ガイドの光入出力端面近傍における光軸と一致する方向をZ軸とし、このZ軸に垂直で前記基板上面に垂直な方向をY軸とし、前記Z軸とY軸に垂直な方向をX軸としたとき、前記基板上面に、前記Z軸を基板上面に平行に向けて固定した光ガイドと、前記基板上の前記Z軸上で、前記光ガイド端面に光路を向けるように配置した光学素子と、前記光ガイド端面と前記光学素子の間のZ軸上であって、前記基板上面で前記Z軸と交差するように前記X軸方向に形成されたV溝に支持された球状レンズとを備えたことを特徴とする光結合モジュール。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭62-042109
特開昭60-068301

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