特許

J-GLOBAL ID：200903000725302938

カンチレバ-

発明者： 戸田 明敏
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-370342
公開番号（公開出願番号）：特開2000-193581
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】試料の種類を問わず、この試料の表面情報を正確に且つ迅速に測定することが可能な低コストなカンチレバーを提供する。【解決手段】弾性部材から成る略三角形状のレバー部4と、このレバー部の基端を支持する支持部6と、レバー部の先端即ちカンチレバー2の自由端に配置された探針8とを備えており、探針は、第1〜第4の壁面10a,10b,10c,10dから成る楔形状を成しており、第1及び第2の壁面10a,10bは、カンチレバーの長手軸(レバー部の先端から基端に亘って直線状に延出した仮想軸)に沿って略平行に且つ互いに対向して配置されている。

請求項（抜粋）：

レバー部と、このレバー部の基端を支持する支持部と、レバー部に配置された探針とを備えたカンチレバーであって、探針は、4つの壁面から成る楔形状を成しており、少なくとも2つの壁面は、カンチレバーの長手軸に沿って略平行に且つ互いに対向して配置されていることを特徴とするカンチレバー。

IPC (2件)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z

Fターム (11件)：

2F069AA04 ,  2F069DD20 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL01 ,  2F069MM04 ,  2F069RR03