均温平板装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中沢謹之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139826
公開番号（公開出願番号）：特開平8-296986
出願日： 1995年04月26日
公開日（公表日）： 1996年11月12日
要約：

【要約】【目的】表面全域の温度の均一化の経時的変化が少なく、かつ軽量で脱着作業がしやすい均温平板装置を提供すること。【構成】アルミニウムもしくはアルミニウム系合金からなる平板1の肉厚内部に前記平板1の全域に亘り適宜の間隔で配置した連通4を設け、前記連通孔4の内面に厚さ0.3mm以上で、純度99.0%以上の銅からなる内壁5を前記平板と一体的に配置し、前記銅による内壁5を有する連通孔4内に、純水、メチルアルコール、もしくはエチルアルコールからなる気液2相の熱媒体を減圧密封し、平板1の繰り返し加熱に対して平板1と熱媒体との化学反応による非凝縮性ガスを発生を抑制し、熱媒体の蒸発潜熱によって平板1の均一温度分布を安定して得る構成。

請求項（抜粋）：

肉厚内部ほぼ全域に渡り適宜の連通孔を形成したアルミニウムもしくはアルミニウム系合金からなる平板からなり、前記連通孔の内周面に所定純度の銅からなる所定厚さの内壁を設けると共に、前記内壁を設けた連通孔内に、純水、メチルアルコール、もしくはエチルアルコールからなる気液2相の熱媒体を減圧密封してなることを特徴とする均温平板装置。

IPC (3件)：

F28D 15/02 101 , F28D 15/02 104 , F28D 15/02 106

FI (3件)：

F28D 15/02 101 H , F28D 15/02 104 A , F28D 15/02 106 G

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-110296
特開昭61-076883
特開昭57-002986

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