気体元素分析方法及び気体元素分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205979
公開番号（公開出願番号）：特開平10-048136
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：

【要約】【課題】背景に発光があっても感度良く気体の成分分析を行うことができる。【解決手段】波長を変化させることが可能なパルスレーザ発振器1が配置されている。パルスレーザ発振器1の発振するレーザ光の光路上に、真空槽2が配置されている。真空槽2に二つのガラス窓3が設置されており、レーザ光が真空槽2内を通過し、外部に出射可能なようになっている。真空槽2の上部に試料ガスを内部に導入するパルスバルブ4が配置されている。窒素ガスは、パルスバルブ4に設けられているピンホールから真空槽2内に導入され、レーザ光の光路上に噴出される。そして、真空槽2の下部に内部の気体を排気するロータリーポンプ5が接続されている。そして、窒素ガスを通過し、真空槽2の外部に出射されたレーザ光の光路上に、ガラスフィルタ6が配置されている。そしてガラスフィルタ6を通過したレーザ光の光路上に分光器7及び光検出器8が配置されている。

請求項（抜粋）：

分析気体に波長を変化させながらパルスレーザ光を照射し、該レーザ光照射による励起によって誘導放出光を発生させるステップと、前記誘導放出光のうち前記パルスレーザ光と同一光路に発生してくる誘導放出増幅光を取り出すステップと、取り出された誘導放出増幅光の強度を測定するステップと、誘導放出増幅光強度の励起波長依存性から前記分析気体の成分分析を行うステップとを含むことを特徴とする気体元素分析方法。

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