特許
J-GLOBAL ID：200903000750611481
慣性センサの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-301406
公開番号（公開出願番号）：特開2009-128101
出願日： 2007年11月21日
公開日（公表日）： 2009年06月11日
要約：
【課題】特定の軸周りの回転方向に、安定した角周波数の周期で、慣性センサを正逆回転させ、振動させることができる慣性センサの検査装置を提供すること。【解決手段】慣性力を検出する慣性センサ50の周波数特性を検査する慣性センサの検査装置10において、端面21に慣性センサ50を支持するための構造を有する支持柱20と、支持柱20の端面21に対して音波を出力することにより、端面21を支持柱20の軸周りに共振させる共振手段40と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
慣性力を検出する慣性センサの周波数特性を検査する慣性センサの検査装置において、
端面に前記慣性センサを支持するための構造を有する支持柱と、
前記支持柱の前記端面に対して音波を出力することにより、前記端面を前記支持柱の軸周りに共振させる共振手段と
を備える慣性センサの検査装置。
IPC (3件)：
G01C 19/00
, G01P 9/04
, G01P 21/02
G01C19/00 Z
, G01P9/04
, G01P21/02
2F105BB20
, 2F105CC04
, 2F105CD02
, 2F105CD06
