特許
J-GLOBAL ID：200903000752712080
イオン加速装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯阪 泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-263034
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089682
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】[目的] 400kV超級イオン加速装置における加速管内を低コストで高真空に排気する。[構成] 加速管16と集束用レンズユニット12とを接続している接続管5と、真空排気管31と真空ポンプ34とを接続している接続管6との間を真空バルブ9を介在させて、バイパス管7、8で接続した。これにより加速管16内の気体が加速管16からバイパス管7、真空バルブ9、バイパス管8及び接続管6を通り、真空ポンプ34により排気されるので、加速管16内が高真空に排気される。
請求項（抜粋）：
ケーシング内にイオン源、質量分離電磁石及びイオンビームが走行される導管を備え、前記ケーシングと該ケーシングを電磁気的に遮蔽するシールドボックスの壁部との間には、前記イオンビームの入射口に第1のオリフィスが取り付けられている加速管及び真空排気装置に第1の接続管を介して接続されている真空排気管を備え、前記シールドボックス外には、前記加速管に第2の接続管を介して接続され、且つ前記イオンビームの入射口に第2のオリフィスが取り付けられている集束用レンズユニットが備えられ、高電圧装置により前記ケーシングに所定の高電圧を印加し、電力供給装置により前記イオン源や質量分離電磁石などに電力を供給するようにしたイオン加速装置において、前記第1の接続管と前記第2の接続管とを配管により開閉自在のバルブを介在させて接続させたことを特徴とするイオン加速装置。
IPC (5件)：
H01J 37/08
, H01J 49/10
, H05H 5/03
, H05H 7/08
, H05H 7/14
