特許

J-GLOBAL ID：200903000753004616

ホットプレート装置

発明者： 井上 龍夫 ,  皆本 直樹 ,  中川 徹太郎
出願人/特許権者： アイシン精機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-365756
公開番号（公開出願番号）：特開2001-183063
出願日： 1999年12月24日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 加熱面の温度分布の均一性に優れ、発熱体の製作が容易で、かつ発熱体を容易に交換でき保守費用が安価となるホットプレート装置を提供する。【解決手段】 被加熱物を加熱する加熱面5bを有する熱伝導加熱部材5と、該熱伝導加熱部材5を加熱する少なくとも一つの加熱流体通路9、10と、該加熱流体通路9の両端に設けられた開口部から加熱流体を出入りさせて前記加熱流体通路9、10内部で前記加熱流体を往復揺動させることを特徴とするホットプレート装置。

請求項（抜粋）：

被加熱物を加熱する加熱面を有する熱伝導加熱部材と、該熱伝導加熱部材を加熱する少なくとも一つの加熱流体通路と、該加熱流体通路の両端に設けられた開口部から加熱流体を出入りさせて前記加熱流体通路内部で前記加熱流体を往復揺動させることを特徴とするホットプレート装置。

IPC (2件)：

F26B 23/10 ,  H01L 21/31

FI (2件)：

F26B 23/10 Z ,  H01L 21/31 F

Fターム (12件)：

3L113AA01 ,  3L113AB05 ,  3L113AC08 ,  3L113AC15 ,  3L113BA34 ,  3L113DA11 ,  3L113DA22 ,  5F045BB10 ,  5F045EB10 ,  5F045EC07 ,  5F045EK10 ,  5F045EK21