中空導波路とその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-113339
公開番号（公開出願番号）：特開平8-036112
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：

【要約】【目的】従来の石英系ファイバが使用できない領域を含む、紫外から赤外領域の広い波長帯で量産性に優れ、低損失かつ大きな光電力を伝送することができ、しかも長期的信頼性の優れた中空導波路及びその安定な製造方法を提供する。【構成】中空の金属導波路1の内壁に、伝送する光の波長帯で透明なポリイミド樹脂2を形成したことを特徴とする中空導波路4。また、中空の金属導波路1の中に溶媒を用いてポリイミド樹脂を溶解した溶液をポンプにより充填し、これを排出した後乾燥させて内壁にポリイミド樹脂層2を形成すると共に、これら一連の成膜工程を繰り返すことにより所望の膜厚のポリイミド樹脂層2を形成することを特徴とする中空導波路4の製造方法。

請求項（抜粋）：