材料カセットの位置決め機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井島藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-102872
公開番号（公開出願番号）：特開平10-294263
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】ゴミの発生を押さえ、また、材料の歪みの発生を防止した材料カセットの位置決め機構を実現する。【解決手段】押上ピン17により材料カセット2は上方に移動し、カセット2の上面は上面規制板12に当接する。この状態でカセット2の高さ方向の位置決めとカセット2のステージ1への固定が完了する。この押上ピン17によるカセット2の上方への押上の際、樽型のローラ20はホルダ25と共に回転し、カセット2の側面とローラ20の表面とがこすれることはなくなる。したがって、摩擦によりゴミが発生することは防止される。なお、この時にカセット2の水平方向の位置が変化しないのは、基準になるローラ20の形状が樽型であり、ホルダ25の回転中心(シャフト29の軸中心)から半径Rのところにローラ20の外周があり、かつローラ20の樽型の曲率半径もRであるからである。

請求項（抜粋）：

材料カセットをステージ上に位置決めする位置決め機構であって、材料カセットの水平方向の位置を規制するためにローラを設け、材料カセットの鉛直方向の位置を規制するために、材料カセットをローラに当接させた状態で材料カセットを上昇させ、材料カセットの上面を上面規制板に当接させるようにした機構において、ローラを樽型の形状に形成すると共にローラを回転可能にホルダに保持させ、ホルダをステージに固定されたブラケットに回転可能に保持させており、ローラのホルダに対する回転軸を鉛直方向とすると共に、ホルダのブラケットに対する回転軸を水平方向とし、ホルダの回転中心から半径Rのところにローラの外周が位置するようにし、ローラの樽型の曲率半径をRとしたことを特徴とする材料カセットの位置決め機構。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 504

FI (2件)：

H01L 21/30 541 L , G03F 7/20 504

前のページに戻る