特許
J-GLOBAL ID：200903000777793956
石英ガラス部品及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-024462
公開番号（公開出願番号）：特開2008-189494
出願日： 2007年02月02日
公開日（公表日）： 2008年08月21日
要約：
【課題】成膜装置、プラズマ処理装置では、当該装置に用いる石英ガラス部品表面に膜状物質が付着し、それらが剥離することによって装置内の発塵、パーティクルとなり、成膜或いはプラズマ処理する製品の汚染原因となっていた。またその様な汚染を防止するため、装置に用いる部品に膜状物質が僅かに付着する度に頻繁に交換することが必要となり、生産性の低下をもたらしていた。【解決手段】石英ガラス部品の表面に平均値径が3μm以上10μm未満、突起最大平均径が80μm以下、個数1000〜6000個/mm2、面積占有率が10〜50%、かつフッ化水素酸溶液に浸した際に、面積占有率の減少値が、浸す前の島状突起の面積占有率の平方根で算出される値以下となる島状の突起で修飾した石英ガラス部品は、成膜装置、プラズマ処理装置に用いた場合、当該部品に対する膜状物質の保持性が高く、付着物の剥離によるパーティクルを減らし、装置の連続使用期間を特に長くする事ができる。【選択図】なし
請求項１：
石英ガラス基材上に、溶射法により石英ガラスからなる島状の突起を形成した石英ガラス部品であって、該突起の幅の平均値が3μm以上10μm未満、該突起の最大幅の5点平均値が80μm以下、該突起の突起密度の平均値が1000〜6000個/mm2、基材に対する突起の面積占有率が10〜50%であり、10wt%フッ化水素酸水溶液(温度:25°C)に石英ガラス部品を30分浸した時に、該突起の面積占有率の減少値が、浸す前の島状突起の面積占有率の平方根で算出される値以下であることを特徴とする石英ガラス部品。
IPC (4件)：
C03C 17/02
, H01L 21/205
, H01L 21/306
, C23C 16/44
C03C17/02 B
, H01L21/205
, H01L21/302 101G
, C23C16/44 J
4G059AA20
, 4G059AB09
, 4G059AC01
, 4G059CA01
, 4G059CB04
, 4K030JA03
, 4K030KA09
, 4K030KA46
, 5F004BB29
, 5F045EB03
, 5F045EC05
