特許
J-GLOBAL ID:200903000779170549

走査トンネル顕微鏡の探針バイアス電圧印加機構

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-330195
公開番号(公開出願番号):特開平6-174411
出願日: 1992年12月10日
公開日(公表日): 1994年06月24日
要約:
【要約】【構成】試料2に電流を流すための二つの電極10及び11間の電圧に比例した電圧を発生する補正電圧発生回路31と、補正電圧発生回路の比例係数を0から1の間で変化させる機構と、補正電圧発生回路の出力電位が基準電位になるように接続された探針バイアス電圧印加電源21とで構成される。【効果】加熱中の試料や電流を流しながらの試料観察が容易になり、温度或は電流に対する試料の動的な振舞いを観察することができる。
請求項(抜粋):
観察対象となる試料に電流を流しながら測定を行うことのできる走査トンネル顕微鏡に於いて、前記試料に電流を流すための二つの電極間の電圧に比例した電圧を発生する補正電圧発生回路と前記補正電圧発生回路の比例係数を0から1の間で変化させる機構とを有し、前記補正電圧発生回路の出力電位が探針バイアス電圧印加電源の基準電位と一致するように接続されていることを特徴とする走査トンネル顕微鏡の探針バイアス電圧印加機構。
IPC (2件):
G01B 7/34 ,  H01J 37/28

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