特許
J-GLOBAL ID:200903000781318030

真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-073637
公開番号(公開出願番号):特開平11-270485
出願日: 1998年03月23日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、吸入部から吐出部までに至り圧縮比が段階的に高められている、圧縮比が少なくとも4である真空度の高いスクリュー型真空ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】 シャフト10mおよびスクリューにスプライン34加工を施し、そのスプライン34を基準にスクリューを加工する。不等リード(圧縮比が漸増する部分)からなるスクリュー部分22mと等リードの密なスクリュー部分24mとを別々に製作し、結合位置23で継ぎ合わせる。位相合わせは治具や変位計を用いると確実に位置決めでき、ナット32mやスプライン34によって固定できる。
請求項(抜粋):
軸に対し垂直断面の形状が同一であり、軸方向に沿って吸入エンドから吐出エンドまで同一径である多数巻のスクリューを備えており、該スクリュウは、不等リードスクリューで構成された吸入エンド側スクリュー部と、該吸入エンド側スクリュー部とは別体に形成された吐出エンド側スクリュー部と、を結合してなり、吸入エンドの一回転当たりの吐出し量と吐出エンドの一回転当たり吐出し量の容積比が少なくとも4対1であることを特徴とするスクリュー型真空ポンプ。
IPC (2件):
F04C 29/00 ,  F04C 25/02
FI (2件):
F04C 29/00 D ,  F04C 25/02 M
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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