スピン塗布装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-149255
公開番号（公開出願番号）：特開平10-340841
出願日： 1997年06月06日
公開日（公表日）： 1998年12月22日
要約：

【要約】【課題】被塗布体表面に形成される塗布膜の均一性の悪化を招くことなく、被塗布体表面に再付着する飛散粒子の数を大幅に減少させることのできるスピン塗布装置を得る。【解決手段】被塗布体1をその中心付近を回転軸として回転させる回転機構2と、被塗布体上面に塗布液を供給する塗布液供給機構4,5と、被塗布体の上方および下方にそれぞれ吸気口6aおよび排気口8aを有し吸気口から被塗布体の側方に向かって拡径して被塗布体の周囲を囲むカップ9と、被塗布体の外周部近傍からカップの方へ拡がる環状整流板7とを備え、気体を吸気口から排気口へと流すのに、カップ内の気体流路断面積と流れ方向が急変しないように、吸気口近傍のカップ内壁9a形状を曲面とした。さらに、整流板の外周部近傍のカップ内壁9b形状も曲面とした。

請求項（抜粋）：

被塗布体を該被塗布体の中心付近を回転軸として回転させる回転機構と、前記被塗布体上面に塗布液を供給する塗布液供給機構と、前記被塗布体の上方および下方にそれぞれ吸気口および排気口を有し前記吸気口から前記被塗布体の側方に向かって拡径して前記被塗布体の周囲を囲むカップと、前記被塗布体の外周部近傍から前記カップの方へ拡がる環状整流板とを備え、気体を前記吸気口から排気口へと流すのに、前記カップ内の気体流路断面積と流れ方向が急変しないように、前記吸気口近傍の前記カップ内壁の形状を曲面としたことを特徴とするスピン塗布装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G11B 7/26 531

FI (4件)：

H01L 21/30 564 C , B05C 11/08 , G03F 7/16 502 , G11B 7/26 531

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-076431
特開昭63-076431

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