特許

J-GLOBAL ID：200903000792851679

ITO焼結体の製造方法

発明者： 高階 啓幸 ,  飯田 恵一 ,  佐々木 丈夫
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072312
公開番号（公開出願番号）：特開平9-255426
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年09月30日
要約：

【要約】【課題】 インジウム化合物及びスズ化合物を含むスラリーの泥漿鋳込み成形法により、高密度で密度ムラのない均一なITO焼結体を製造する。【解決手段】 消泡剤を含むスラリー濃度50〜90重量%のスラリーを振動鋳込み成形し、オゾン含有雰囲気、酸素又は酸素富化空気雰囲気、酸素及び/又はオゾン含有加圧雰囲気、或いは、SnO2 含有粉末存在下で焼成する。【効果】 消泡剤を用いてスラリーを十分に脱泡することにより気泡の残留を防止して高密度焼結体を得ることができる。振動鋳込み成形を行うことにより、粒子の不均一付着が防止され、より一層高密度で密度ムラの極めて小さいものとすることができる。焼成雰囲気を制御することにより、SnO2 の分解を抑制して、緻密かつ所望組成に焼成することができる。

請求項（抜粋）：

インジウム化合物及びスズ化合物と分散媒との合計重量に対して50〜90重量%の割合にてインジウム化合物及びスズ化合物を含むスラリーを泥漿鋳込み成形した後、焼成してITO焼結体を製造する方法において、該スラリーとして消泡剤を含むものを用い、泥漿鋳込み成形に当り、成形型に振動を付与する振動鋳込み成形を行い、焼成時の雰囲気をオゾン含有雰囲気とすることを特徴とするITO焼結体の製造方法。

IPC (4件)：

C04B 35/495 ,  B28B 1/26 ,  C04B 35/457 ,  H01B 13/00 503

FI (4件)：

C04B 35/00 J ,  B28B 1/26 ,  H01B 13/00 503 B ,  C04B 35/00 R