特許
J-GLOBAL ID:200903000799317988

赤外線検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 純之助 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-323564
公開番号(公開出願番号):特開2000-019013
出願日: 1998年11月13日
公開日(公表日): 2000年01月21日
要約:
【要約】【課題】光チョッパを用いずに強誘電体膜の温度を測定し、それによって入力赤外線の強度を検出する赤外線検出装置を提供する。【解決手段】2枚の電極8、9の間に強誘電体膜7が挾まれている強誘電体コンデンサ10を用い、その2枚の電極間に所定方向で抗電界以上の電界を印加し、続いて前記の逆方向で抗電界以上の電界を印加し、電界を印加した際の分極の反転に伴う電荷の変化に相当する電流、または該電流の積分値に相当する値を測定する構成。上記のように構成したことにより、強誘電体膜に赤外線を入射したままで分極を反転させ、その時点の温度に相当する電界を検出できるので、光チョッパが不要になる。
請求項(抜粋):
2枚の電極の間に強誘電体が挾まれている強誘電体コンデンサと、該強誘電体コンデンサを熱的に基板から分離する熱分離領域と、赤外線を吸収し、かつ前記強誘電体コンデンサとは熱的に接している赤外線吸収膜と、を有する赤外線検出装置であって、前記強誘電体コンデンサの2枚の電極間に所定方向で抗電界以上の電界を印加し、続いて前記所定方向の逆方向で抗電界以上の電界を印加する手段と、前記電界を印加した際の分極の反転に伴う電荷の変化に相当する電流、または該電流の積分値に相当する値を測定する手段と、を備えたことを特徴とする赤外線検出装置。
IPC (4件):
G01J 1/02 ,  G01J 1/42 ,  G01J 1/46 ,  G01J 5/34
FI (5件):
G01J 1/02 Y ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 1/42 B ,  G01J 1/46 ,  G01J 5/34
Fターム (9件):
2G065AB02 ,  2G065BA14 ,  2G065BA15 ,  2G065BA33 ,  2G065BA34 ,  2G066AC20 ,  2G066BA03 ,  2G066BA04 ,  2G066BC02

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