特許

J-GLOBAL ID：200903000803582608

セルフアライメント効果評価装置

発明者： 横沢 雄二 ,  吉田 陽 ,  松原 浩司
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-269056
公開番号（公開出願番号）：特開2003-075321
出願日： 2001年09月05日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】 少ない試料数で精度よくはんだのセルフアライメント効果を評価することができる。【解決手段】 セルフアライメント効果評価装置21は、はんだ22を備える第1部材23、試料台24、試料台24を駆動する駆動手段26、試料台24を角変位する角変位手段27、第1部材23とはんだ22とを加熱する加熱手段28、第1部材23に対してはんだ付けされる第2部材29、第2部材29を把持する把持部材30および把持部材30の駆動トルクを検出するトルク検出手段31を含む構成である。トルク検出手段31は、加熱によって溶融したはんだ22と第2部材29との間に生じるぬれ力によって第2部材29および把持部材30が回転するとき、回転の駆動トルクを検出する。検出されたトルク値によってセルフアライメント効果を評価することができるので、少ない試料数で精度よくセルフアライメント効果を評価することが可能になる。

請求項（抜粋）：

はんだ付けされるべき表面にはんだを備える第1部材と、第1部材が載置される試料台と、試料台を予め定める方向に延びる軸線方向において往復駆動する駆動手段と、試料台を前記軸線に垂直な平面において角変位する角変位手段と、試料台に載置された第1部材と第1部材に備わるはんだとを加熱する加熱手段と、第1部材に対してはんだ付けされる第2部材であって、第1部材を臨んで配置される第2部材と、第2部材を把持する把持部材と、把持部材の駆動トルクを検出するトルク検出手段とを含むことを特徴とするセルフアライメント効果評価装置。

IPC (2件)：

G01N 13/02 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 13/02 ,  H05K 3/34 512 A

Fターム (4件)：

5E319BB01 ,  5E319CC33 ,  5E319CD51 ,  5E319GG09