特許

J-GLOBAL ID：200903000805497160

ダイシング用リングフレームへの接着剤の付着防止方法、該方法に用いられる粘着シートおよび該粘着シートを備えたウェハ加工用シート

発明者： 妹 尾 秀 男 ,  杉 野 貴 志
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-274077
公開番号（公開出願番号）：特開平8-213349
出願日： 1995年10月23日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 半導体ウェハ加工時に用いるリングフレームへの接着剤の付着が防止し、リングフレームの洗浄回数を必要最小限にとどめて、リングフレームの寿命を長くする。【解決手段】 ダイシング用リングフレーム1のダイシングテープ接着予定面4に易剥離層を設ける。

請求項（抜粋）：

ダイシング用リングフレームのダイシングシート接着予定面に易剥離層を設けることを特徴とするダイシング用リングフレームへの接着剤の付着防止方法。

IPC (2件)：

H01L 21/301 ,  B28D 7/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-290009
  
• 特開昭59-177942