特許

J-GLOBAL ID：200903000812546258

イオン源の自動エイジング運転方法

発明者： 小西 正志 ,  立道 潤一
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121737
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302546
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 イオン源からイオンビ-ムを引き出すための電極において、製造直後、清掃後には突起物やゴミがあって放電が起こりやすい状態である。そこで製造直後あるいは清掃直後は、電極間に電圧を印加し電極間に強制的に放電を起こさせる操作を行なう。これがエイジングである。従来は人の手によって行なっていたので、人件費がかかるし、エイジングの結果の電極の状態も一定でないという問題があった。これを自動運転する方法を提供する。【構成】 初期電圧、最終電圧を決め、一定計測期間毎に放電の回数を計測する。放電回数Mがある閾値N0 以下であると電圧を一定電圧だけ上げる。放電回数Mが閾値以上であると、電圧を一定電圧下げる。計測期間毎に印加電圧を上昇あるいは下降させる操作を、印加電圧が最終電圧に至るまで行なう。

請求項（抜粋）：

新たに製造したイオン源あるいは、電極を補修、清掃、或いは研磨した直後のイオン源を、イオン源として使用する前に、電極間に放電を強制的に起こさせて電極面の微細な突起を除き安定な運転を可能にするためのエイジングを自動的に行なう方法であって、エイジングの初期電圧をVi、最終電圧をVe、放電計測期間をT、上昇電圧単位をB、下降電圧単位をC、放電頻度閾値をNとして、始め初期電圧Viを電極間に加え、計測期間T毎に放電回数Mを計り、放電回数Mが閾値N0 以下であれば印加電圧をBだけ増やし、MがN0 を越えれば印加電圧をCだけ減少させるようにし、T時間毎に印加電圧Vを+Bあるいは-C変化させ、最終電圧Veに到達するまでこの操作を繰り返す事を特徴とするイオン源の自動エイジング運転方法。