特許

J-GLOBAL ID：200903000820511951

研磨用発泡シートおよびその製造方法

発明者： 政木 義則 ,  古川 剛
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-044307
公開番号（公開出願番号）：特開2003-245861
出願日： 2002年02月21日
公開日（公表日）： 2003年09月02日
要約：

【要約】【課題】 層間絶縁膜や金属配線等の、半導体のデバイスウエハの表面平坦化加工に用いられる研磨パッドにおいて、研磨性能ばらつきが小さく、研磨精度の高い、さらには環境に優しい研磨用発泡シート、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 常温・常圧で気体状態のガスを発泡剤として、平均径が0.1μm以上、300μm未満である気泡を発泡させた発泡シートであり、該シート中には砥粒を含有することを特徴とする研磨用発泡シートであり、常温・常圧で気体状態のガスは二酸化炭素、窒素又はそれらの混合ガスであり、シートを構成する原料の主成分はポリウレタンであることが好ましい。

請求項（抜粋）：

常温・常圧で気体状態のガスを発泡剤として、平均径が0.1μm以上、300μm未満である気泡を発泡させた発泡シートであり、該シート中には砥粒を含有することを特徴とする研磨用発泡シート。

IPC (12件)：

B24D 11/00 ,  B24B 37/00 ,  B24D 3/00 340 ,  B29C 44/00 ,  C08J 9/12 CFF ,  H01L 21/304 621 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304 ,  B29K 27:12 ,  B29K 75:00 ,  B29L 7:00 ,  C08L 75:00

FI (12件)：

B24D 11/00 E ,  B24B 37/00 C ,  B24D 3/00 340 ,  C08J 9/12 CFF ,  H01L 21/304 621 D ,  H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 622 X ,  B29K 27:12 ,  B29K 75:00 ,  B29L 7:00 ,  C08L 75:00 ,  B29C 67/22

Fターム (31件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  3C063AB07 ,  3C063BB01 ,  3C063BB03 ,  3C063BB26 ,  3C063BC03 ,  3C063BC04 ,  3C063BC09 ,  3C063CC05 ,  3C063EE10 ,  3C063FF22 ,  3C063FF23 ,  4F074AA38 ,  4F074AA78 ,  4F074BA32 ,  4F074BA33 ,  4F074CA21 ,  4F074CC03X ,  4F074CC34Y ,  4F212AA16 ,  4F212AA31 ,  4F212AB02 ,  4F212AG01 ,  4F212AG20 ,  4F212UA09 ,  4F212UG02 ,  4F212UH30 ,  4F212UN11