特許

J-GLOBAL ID：200903000823058468

ガラス基板の処理方法

発明者： 三谷 一石 ,  斉藤 靖弘
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343390
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】表面が平滑な磁気ディスク用ガラス基板は、板状に成形されたガラス素板を研磨して得られるが、酸化セリウム研磨砥粒が強固にガラス表面に付着し、砥粒の付着がないガラス基板を研磨のみで得ることは困難であった。この付着異物を除去するために、ガラス表面をフッ酸でエッチングすると、ガラス表面に潜傷やエッチング班が発生する課題があった。【解決手段】ガラス基板を酸化セリウムの砥粒を用いて研磨した後、コロイダルシリカの懸濁液を用いて研磨面をスクラブ洗浄する。その後pH11のNaOH水溶液でさらに第2のスクラブ洗浄をする。

請求項（抜粋）：

二酸化珪素粒子を粒子の主成分として含む懸濁液を洗浄液として用い、ガラス基板の研磨面をスクラブ洗浄することを特徴とするガラス基板の処理方法。

IPC (4件)：

B24B 1/00 ,  B08B 1/04 ,  B24B 37/00 ,  B24B 55/06

FI (4件)：

B24B 1/00 D ,  B08B 1/04 ,  B24B 37/00 H ,  B24B 55/06

Fターム (28件)：

3B116AA02 ,  3B116AB44 ,  3B116BA02 ,  3B116BA08 ,  3B116BA13 ,  3B116BB01 ,  3C047FF19 ,  3C047GG14 ,  3C049AA07 ,  3C049AA16 ,  3C049AB04 ,  3C049AB06 ,  3C049AB08 ,  3C049AC04 ,  3C049CA01 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C058AA07 ,  3C058AA16 ,  3C058AB04 ,  3C058AB06 ,  3C058AB08 ,  3C058AC04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01 ,  3C058DA02 ,  3C058DA06