特許
J-GLOBAL ID：200903000823155099
薄膜コンデンサ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-015180
公開番号（公開出願番号）：特開平7-226334
出願日： 1994年02月09日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：
【要約】【目的】 150°C以下の温度で作製でき、70nF/cm2 以上の容量密度を有し、かつ、絶縁性に優れた薄膜コンデンサ及びその製造方法とともに、それを用いた高精度・高信頼性のCR回路素子を提供することを目的としている。【構成】 薄膜コンデンサは樹脂製プリント基板であるPC(ポリカーボネイト)基板1、アルミ下部電極2、複合ペロブスカイト酸化物粉末3と硬化性樹脂4から構成される誘電体膜5、及びアルミ上部電極6からなる。誘電率が数千以上の複合ペロブスカイト酸化物粉末3を硬化性樹脂4を含有する揮発性溶媒に分散させてスピンコート法でPC基板3上に塗布した後、80°Cで揮発溶媒の乾燥除去、紫外光照射によって樹脂硬化することにより、150°C以下で誘電体膜5を形成する。
請求項（抜粋）：
下部電極と上部電極との間に誘電体膜を設けた薄膜コンデンサであって、誘電体膜として複合ペロブスカイト酸化物と硬化性樹脂の混合体を用いたことを特徴する薄膜コンデンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01G 4/06 102
, H01G 4/40 307
