特許

J-GLOBAL ID：200903000835619864

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 薄田 謙二 ,  荒野 明男 ,  西川 雅人
出願人/特許権者： クラリアント ジャパン 株式会社
代理人 (1件)： 鐘尾 宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-017832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214582
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】高感度・高解像力で、現像残りの無く、かつ良好な形状を有するパターンを形成することができるポジ型感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性ノボラック樹脂のナフトキノンジアジドスルホン酸部分エステルからなる感光性ノボラック樹脂を含有してなる感光性樹脂組成物において、前記感光性ノボラック樹脂が、アルカリ可溶性ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルと、アルカリ可溶性ノボラック樹脂の1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルとの混合物からなり、かつこれら1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホニル基と1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基の重量比が5:95〜20:80であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性ノボラック樹脂とo-ナフトキノンジアジド化合物との部分エステル化物を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物において、該部分エステル化物が1,2-ナフトキノンジアジド-4-スルホン酸エステルと、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホン酸エステルとからなり、かつ該部分エステル化物に結合した前記4-スルホニル基と5-スルホニル基の重量比が5:95〜20:80であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (2件)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/023 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (12件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE02 ,  2H025BJ01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17