特許

J-GLOBAL ID：200903000860585737

CZ法における融液レベル制御装置および制御方法

発明者： 大田 一男
出願人/特許権者： コマツ電子金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-026013
公開番号（公開出願番号）：特開平5-194080
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：

【要約】【目的】 融液面の振動にかかわらず融液レベルを常に高精度で検出し、ヒータに対する融液面の位置を一定に維持することができるような、CZ法における融液レベル制御装置および制御方法を提供する。【構成】 チャンバ1上方に設けたレーザ光発振器2のレーザ光を光走査器3により所定周波数、所定走査角の走査光に変換して融液面6に投射する。そして融液面に形成される前記走査光の走査幅をCCDカメラ7が検出すると、制御部8が検出走査幅Lf と目標走査幅L0 とを比較し、その差が限界値以下になるようにるつぼ軸昇降用サーボモータ12を駆動する。前記光走査幅は従来の融液レベル測定装置に用いられている投射光スポット径に比べて著しく大きいため融液面の振動の影響を受けにくく、高精度の融液レベル制御が可能となる。

請求項（抜粋）：

CZ法を用いる単結晶製造装置において、コヒーレント光を光走査器により所定周波数、所定走査角の走査光に変換してチャンバ上方から融液面に投射する光学系と、前記走査光の融液面における走査幅を検出して制御部に入力する検出系と、所定のるつぼ位置指令信号を前記制御部に出力するるつぼ位置指令部と、前記検出系が検出した走査光の幅と、所定のるつぼ位置指令信号に基づく走査光の幅の目標値とを比較し、その結果に基づいてサーボモータ用パワーアンプに駆動速度指令信号を出力する制御系とを備えたことを特徴とする、CZ法における融液レベル制御装置。